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激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能

發布時間:2022-11-18      點擊次數:153
   一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質的激光氣,統稱為激光混合氣。這是目前種類最多、發展最快應用廣的一類激光器。通??梢园褮怏w激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準分子激光器、氣體激光器的激勵方式很多,通常采用氣體放電激勵,此外還可采用電子束激勵、氣動式激勵、化學激勵、光激勵和核動激勵等。氣體激光器與液體激光器、固體激光器和半導體激光器一樣,已經實現了實用化。它已廣泛用于工農業生產、科學研究、國防建設和醫療衛生等領域。氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于其中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發射的不穩定。因此,對組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。
  
  激光混合氣的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于其中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發射的不穩定。因此,對其組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光,二氧化碳激光氣是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。
  
  激光混合氣的組成與精度的影響?;旌蠚庵薪M分濃度的變化對于振蕩效率和激光器使用壽命影響極大。采用99.999%、二氧化碳和99.999%氫氣、氮氣和氦氣等高純氣體,按激光發生器的的比例要求配制而成的預混合氣體。具有重復性好、均勻性好、一致性好等特點。其組成與精度的影響。對于二氧化碳激光器,若混合氣氮組分氣濃度發生變化,受電子沖撞則引起氨分子激勵狀態發生變化,結果會造成二氧化碳氣體分子的激勵效率等發生變化。
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